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联系人:梁经理
手机:15666361100
办公地点:山东省淄博市临淄大道818甲9号
销售方式:全国批发
氯化氢气体为强刺激性,不燃气体,溶水后有强烈腐蚀性。产品包装于高压专用钢瓶中,处于液态。专用钢瓶为钢质无缝气瓶,瓶内抛光处理。瓶阀为抗腐蚀不锈钢隔膜阀。钢瓶设计压力为12.5Mpa,工作压力约5-6Mpa。
氯化氢产品的生产工艺为本公司专利技术,具有自主知识产权,填补了国内高纯氯化氢产品生产空白。氯化氢产品参SEMIC3.35-1101HCl标准,并执行国家标准GB/T24469-2009(电子级)和企业标准Q/ZWDL001-2006(化学级)。氯化氢产品采用HCl专用钢瓶包装,钢瓶符合国标GB5099-1994或DOT3AA标准,瓶阀为316L不锈钢隔膜式阀,接口为CGA330。本公司提供氯化氢专用配套设施、设备、阀门、减压器,并提供优质技术服务和售后服务。
说明 |
用途 |
安全标示 |
|
装于钢瓶中的液化气体, 遇水强腐蚀性, 强刺激味, 吸入毒性, 20℃下钢瓶压力4.2MPa, 保质期:2年 |
大规模集成电路生产中,单晶硅片气相抛光,外延基座腐蚀 |
国家危险性级别:2.2 UN No.:1050 CN No.:22022 CAS No.:7647-01-0 安全警示:腐蚀性 |
职业接触限值: MAC(mg/ m3):15 mg/ m3 安全技术说明书:030501A |
等级:VLSI 纯度:≥99.999% 检测方式:逐瓶检测
|
成分 |
标准值 |
实际产品 |
检测仪器 |
检测限 |
||
最小值 |
平均值 |
最大值 |
|||||
杂质 1x10-6(V/V) |
氮 |
≤2.00 |
0.20 |
0.30 |
0.40 |
DID色谱仪 |
0.001 |
氧+氩 |
≤1.00 |
<0.05 |
<0.05 |
<0.05 |
DID色谱仪 |
0.001 |
|
甲烷+乙炔 |
≤1.00 |
0.10 |
0.30 |
0.60 |
DID色谱仪 |
0.001 |
|
一氧化碳 |
≤2.00 |
<0.10 |
<0.10 |
<0.10 |
DID色谱仪 |
0.002 |
|
二氧化碳 |
≤2.00 |
0.20 |
0.70 |
1.00 |
DID色谱仪 |
0.002 |
|
水 |
≤1.00 |
<0.30 |
<0.30 |
<0.40 |
精密光电露点仪 |
0.1 |
|
金属离子 1x10-6(W/W) |
铁 |
≤0.50 |
0.10 |
0.20 |
0.30 |
等离子体发射光谱 |
0.01 |
镍 |
≤0.10 |
<0.05 |
<0.05 |
<0.05 |
等离子体发射光谱 |
0.01 |
|
铜 |
≤0.10 |
<0.05 |
<0.05 |
<0.05 |
等离子体发射光谱 |
0.01 |
|
钴 |
≤0.10 |
<0.05 |
<0.05 |
<0.05 |
等离子体发射光谱 |
0.01 |
|
锰 |
≤0.10 |
<0.05 |
<0.05 |
<0.05 |
等离子体发射光谱 |
0.01 |
|
铬 |
≤0.10 |
<0.05 |
<0.05 |
<0.05 |
等离子体发射光谱 |
0.01 |
|
露点/℃ |
<-76 |
-84 |
-83 |
-83 |
精密光电露点仪 |
-84 |
公司地址:山东省淄博市临淄大道818甲9号